テーマ:「薄膜の評価技術」

日時:2007年9月25日(火)10:00~17:20 9月26日(水)9:30~17:00

プログラム:(敬称略)
9月25日
「薄膜の基礎 -計算科学の立場から-」(三重大 伊藤智徳)
「光学顕微鏡」(オリンパス 田中隆明)
「走査プローブ顕微鏡」(豊田工大 吉村雅満)
「X線回折法による薄膜および多層膜の構造解析」(名古屋大 岩田 聡)
「SIMSとその応用」(名古屋工業大 江龍 修)
「薄膜の機械的特性評価」(名大 井上泰志)

9月26日
「電子分光法 (XPS, UPS, AES)」(豊田中研 堂前和彦)
「電子回折法(LEED, RHEED)」(大同工大 堀尾吉已)
「透過電子顕微鏡法」(名古屋大 齋藤 晃)
「X線小角散乱法」(京都大 奥田浩司)
「エリプソメトリ法」(京都大 白藤 立)
「フォトルミネッセンス法とラマン分光法」(名古屋工業大 濱中 泰)