テーマ:「薄膜の評価技術」

日時:2004年9月16日(木)9:30~17:20 9月17日(金)9:30~17:30

プログラム:(敬称略)
9月16日
「はじめに」(名工大 坂本功)
「X線回折の基礎:結晶・薄膜の構造及び表面評価法」(高輝度光科学研究センター 高田昌樹)
「電子顕微鏡による薄膜の構造解析」(名大 田中信夫)
「RBSによる薄膜の組成分析」(産総研 中尾節男)
「SIMSとその応用」(名工大 江龍修)
「走査プローブ顕微鏡による表面分析」(豊田工大 吉村雅満)

9月17日
「XPS,UPS及びオージェ電子分光を用いた表面分析」(豊田中研 堂前和彦)
「薄膜の機械的特性」(名大 井上泰志)
「フォトルミネセンス法と薄膜評価」(阪大 藤原康文)
「DLTSの原理とその応用」(愛工大 徳田豊)
「車載用半導体デバイスの故障解析」(トヨタ自動車 後藤安則)
「まとめ」(トヨタ自動車 川橋憲)