テーマ：「薄膜の評価技術」

日時：2008年9月16日（火）10:00～17:20　9月17日（水）9:30～17:00

プログラム：（敬称略）
9月16日
「薄膜の基礎 －計算科学の立場から－」（三重大 伊藤智徳）
「光学顕微鏡」（オリンパス　田中隆明）
「プローブ顕微鏡(SPM)の基礎と応用」（豊田工大 吉村雅満）
「X線回折法による薄膜および多層膜の構造解析」（名古屋大 岩田 聡）
「X線小角散乱法」（豊田工大 田代孝二）
「薄膜の機械的特性評価」（名大　井上泰志）

9月17日
「電子分光法 (XPS, UPS, AES)」（豊田中研 堂前 和彦）
「電子回折法（LEED, RHEED）」（大同工大 堀尾吉已）
「透過電子顕微鏡法」（名古屋大 齋藤 晃）
「SIMSとその応用」（名古屋工業大 江龍 修）
「エリプソメトリ法」（京都大　白藤 立）
「フォトルミネッセンス法とラマン分光法」（名古屋工業大 濱中 泰）