テーマ：「薄膜の評価技術」

日時：2005年9月29日（木）10:00～17:20　9月30日（金）9:30～17:00

プログラム：（敬称略）
9月29日
「はじめに」（名大　藤巻 朗）
「光学顕微鏡」（オリンパス　田中隆明）
「高分解能薄膜Ｘ線回折によるエピタキシャル薄膜の結晶性評価」（名大院工　太田裕道）
「電子顕微鏡(SEM, TEM)」（名大　酒井 朗）
「SIMSとその応用」（名工大　江龍 修）
「走査プローブ顕微鏡」（豊田工大　吉村雅満）
「薄膜の機械的特性評価」（名大　井上泰志）

9月30日
「電子回折法(LEED, RHEED)」（大同工大　堀尾吉已）
「電子分光法(XPS, UPS, AES)」（豊田中研　堂前和彦）
「フォトルミネッセンス法」（阪大　藤原康文）
「DLTS法の原理とその応用」（愛知工大　徳田 豊）
「エリプソメトリ法」（京都大　白藤 立）
「まとめ（名大　生田 博志）