テーマ：「薄膜の評価技術」

日時：2004年9月16日（木）9:30～17:20　9月17日（金）9:30～17:30

プログラム：（敬称略）
9月16日
「はじめに」（名工大 坂本功）
「X線回折の基礎：結晶・薄膜の構造及び表面評価法」（高輝度光科学研究センター 高田昌樹）
「電子顕微鏡による薄膜の構造解析」（名大 田中信夫）
「RBSによる薄膜の組成分析」（産総研 中尾節男）
「SIMSとその応用」（名工大 江龍修）
「走査プローブ顕微鏡による表面分析」（豊田工大　吉村雅満）

9月17日
「XPS，UPS及びオージェ電子分光を用いた表面分析」（豊田中研 堂前和彦）
「薄膜の機械的特性」（名大 井上泰志）
「フォトルミネセンス法と薄膜評価」（阪大 藤原康文）
「DLTSの原理とその応用」（愛工大 徳田豊）
「車載用半導体デバイスの故障解析」（トヨタ自動車 後藤安則）
「まとめ」（トヨタ自動車 川橋憲）