テーマ：「薄膜の評価技術」

日時：2010年5月12日（水）10:00～16:35

プログラム：（敬称略）
「薄膜の堆積技術の基礎と実践」（井上泰志　名古屋大）
「Ｘ線回折法による薄膜及び多層膜の構造解析」（岩田　聡　名古屋大）
「薄膜の機械的特性」（逆井基次　豊橋技術科学大学）
「電子分光法（XPS、UPS、AES)」（堂前和彦　豊田中研）
「エリプソメトリ法」（白藤　立　名古屋大）