テーマ：「薄膜の評価技術」

日時：2006年9月28日（木）10:00～17:20　9月29日（金）9:30～17:00

プログラム：（敬称略）
9月28日
「薄膜成長の基礎」（名大　上羽牧夫）
「光学顕微鏡」（オリンパス　田中隆明）
「電子顕微鏡：SEMおよびTEM」（名大　酒井 朗）
「SIMSとその応用」（名工大　江龍 修）
「走査プローブ顕微鏡」（豊田工大　吉村雅満）
「薄膜の機械的特性評価」（名大　井上泰志）

9月29日
「電子分光法 (XPS, UPS, AES)」（豊田中研　堂前和彦）
「電子回折法（LEED, RHEED）」（大同工大　堀尾吉已）
「フォトルミネッセンス法」（阪大　藤原康文）
「不純物準位分光評価(DLTS)法」（愛知工大　徳田 豊）
「エリプソメトリ法」（京都大　白藤 立）
「X線回折法による多層膜の構造解析」（名大　岩田 聡）