テーマ:「薄膜の評価技術」

日時:2002年7月25日(木)7月26日(金)

プログラム:(敬称略)
7月25日
「はじめに」 岩田 聡(名大)
「X線回折の基礎:結晶・薄膜の構造及び表面評価法」 高田昌樹(名大)
「TiO2薄膜の構造解析と光触媒効果」 吉村和記(産総研)
「電子顕微鏡による薄膜の構造解析」 酒井 朗 (名大)
「カーボンナノチューブの構造評価と応用」 齋藤弥八(三重大)
「走査プローブ顕微鏡による表面分析」 吉村雅満(豊田工大)

7月26日
「フォトルミネッセンス法と薄膜評価」 藤原康文(名大)
「ナイトライド系半導体の結晶成長とフォトルミネッセンス」 天野 浩(名城大)
「SIMSとその応用」 江龍 修(名工大)
「XPS、UPS及びオージェ電子分光を用いた表面分析」 後藤敬典(名工大)
「有機エレクトロルミネッセンス素子の作製と評価」 森 竜雄(名大)
「まとめ」 堀 勝(名大)