応用物理学会・東海支部 基礎セミナー
（協賛：表面技術協会高機能トライボ表面プロセス部会）
「成膜・コーティングの基礎」
本セミナーでは、成膜及びコーティングに関するプロセス技術をテーマとして、大学および企業の初学者向けに、先端エレクトロニクスデバイスや自動車部材用コーティングの開発・製造を支える各種成膜プロセス技術の基礎と最新の応用例を紹介していただきます。多くの学生、研究者の参加をお待ちしております。
○ 日時：2023年9月8日（金）13:00〜16:00（開場：12時半）
○名城⼤学 天白キャンパス 共通講義棟東 E302室
〒468-8502 愛知県名古屋市天白区塩釜口1-501
https://www.meijo-u.ac.jp/about/campus/tempaku.html
このイベントは応用物理学会「応用物理学学術・教育奨励基金」の支援を受けて実施されます。
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13:00〜13:05 はじめに （名城大学 太田 貴之、岐阜大学 上坂 裕之）
13:05〜13:45 燃料電池におけるドライコーティング技術の将来展望（トヨタ⾃動⾞ 柳本 博）
13:45〜14:25 ミストCVD法による材料探索とさまざまな応用例（立命館大学 金子 健太郎）
14:40〜15:20 スパッタリングの基礎と応用（アルバック 沼田 幸展）
15:20〜16:00 PVD成膜法による炭素系硬質薄膜の基礎と応用（名古屋⼤学 野⽼⼭ 貴⾏）
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○ 参加費（テキスト込） 一般：2000円，学生500円 （当日現地支払い）
○ 問い合わせ先：太田（名城大学）tohta@meijo-u.ac.jp
○ 申込み先：下記の申込みフォームから参加登録をお願いします。
ー申込みフォームー
○ 申込み〆切：2023年8月31日（木）
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講演要旨
1．「燃料電池におけるドライコーティング技術の将来展望」
我々は初代MIRAIのセパレータにプラズマCVDによるカーボンコーティング技術を適用して以来、表面処理の進化に取り組んでいる。本講演では最近のメタルセパレータ研究事例を紹介すると共にドライコーティング技術の進化への期待について解説する。
2．「ミストCVD法による材料探索とさまざまな応用例」
ミストCVD法は準安定相化合物の結晶成長が容易に出来る等、材料探索研究を行う際の強力な結晶成長手法である。さらに、多様な電子デバイスや燃料電池等への応用が期待されており、実施例も含めて本手法の原理から特徴、応用例を解説する。
3．「スパッタリングの基礎と応用」
本講演では、はじめにスパッタ成膜装置の概要と、各種成膜プロセスとスパッタ成膜プロセスとの違いについて述べる。特に、スパッタ成膜技術の基礎となる成膜粒子の放出、輸送、成長の3つの過程について解説し、スパッタ成膜技術を用いた開発事例を紹介する。
4．「PVD成膜法による炭素系硬質薄膜の基礎と応用」
炭素系硬質薄膜の物理蒸着（PVD）法による成膜原理と摩擦摩耗特性について解説する。また、硬質薄膜の機械的特性、Raman分光法を用いた構造推定について解説する。
